华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获国家技术发明奖一等奖

更新时间：2024-06-24 18:43:06

导读华海清科公告，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。公司董事长、首席...

华海清科公告，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得一等奖证书。该项目实现了国内市场CMP装备领域的国产替代，国内市场占有率达到较高水平。本次获奖对公司近期业绩暂无重大影响。

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